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廿年磨剑,“909”工程二次升级,成为十三五上海最大产业投资

2019/12/6 4:11:45

廿年磨剑,“909”工程二次升级,成为十三五上海最大产业投资

更大尺寸的晶圆,更高密度的芯片,更细线宽的工艺——今天(9日),国家发展微电子产业重点工程“909”工程,在20年之后启动二次升级,总投资387亿元,建设华力二期12英寸集成电路新生产线,达国际主流规格和水平。这一项目被列入国家《“十三五”集成电路产业重大生产力布局规划》,也是“十三五”期间上海最大的产业投资项目之一,以及2016年度上海市重大工程。

从8英寸到12英寸更高工艺等级的比较。徐瑞哲 摄

 

作为原电子工业部与上海市政府“部市合作”的国家“909”工程载体,上海华虹(集团)有限公司1996年诞生,成为我国发展自主可控集成电路产业的国有产业集团。华虹集团从建设和运营中国大陆第一条8英寸生产线起步,现共有3条8英寸生产线、1条12英寸生产线,后者也是国内第一条全自动芯片生产线,以及采用国产设备和原材料最多的12英寸线,其全自动硅片搬送系统和全自动派工系统,达到当前智能制造最高水平。

华力微电子12英寸集成电路芯片生产线。

 

目前,这4条线的总产能折合8英寸后达到每月23万片,已是“909”工程一期竣工时的11.5倍。同时,工艺技术从0.35微米,演进到了28纳米。今年,华虹集团集成电路制造业收入预计首次突破10亿美元大关,达到12亿美元。近5年来,华虹下属的两家公司分别在深圳和香港上市,也为集团后续发展提供了境内外两大融资平台。迄今,全集团已申请集成电路制造发明专利1万项。

华力微电子全自动生产线上的轨道小车。

 

作为电子信息产业链上游的“芯”,跨国巨头持续挑战摩尔定律,不断提升高工艺等级,深入更为细小的纳米尺度。为此,这一重大产业项目将工艺定位为28-20-14纳米的12英寸集成电路芯片生产线。通过新设法人——上海华力集成电路制造有限公司,在浦东新区康桥工业区南区建设一条月产能4万片的新线,主要从事逻辑芯片生产,重点服务国内设计企业先进芯片的制造需求,并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造。

 

解放日报·上观新闻记者获悉,按计划,项目将于今年底正式动工,2018年底完成工艺串线、试生产,形成1万片生产能力;2020年具备14纳米FinFET产品的生产能力;2022年前实现4万片达产。项目建成后,华虹集团集成电路制造能力将覆盖半微米至14纳米的各工艺技术平台,制造规模进入全球前五,工艺技术进入全球第一梯队。

 

目前,在中央和上海市各有关方面支持下,项目筹资和土地征用工作即将完成。项目资本金已达296亿元,由国家集成电路产业基金、上海市集成电路制造基金以及上海市战略性新兴产业基金共同出资,由国家开发银行领衔的银团为项目提供贷款。项目新征土地45公顷,可建设3条12英寸生产线,先建设1条生产线和综合配套设施,并完成相邻生产线的桩基工程。

 

上海市经信委透露,根据相关规划,争取到2020年,集成电路产业规模达到2000亿元;先进设计能力进入16/14纳米及以下,先进工艺量产能力达到16/14纳米;特色工艺进入世界先进行列,部分领域达到国际领先水平。

 

当天,全国政协原副主席、华虹集团名誉董事长胡启立,国家发改委副主任林念修,上海市委副书记、常务副市长应勇共同启动项目建设。

 

【新闻链接】“909”升级路

“909”工程:20世纪90年代第九个五年计划中,国家发展微电子产业重点工程的简称。其内容是建设一条8英寸、0.5微米技术起步,月加工2万片晶圆的超大规模集成电路生产线。项目于2000年竣工。

“909”工程升级改造项目:“十二五”期间国家电子信息产业的重点项目。在“909”工程成功建设和已取得成果的基础上,在张江建设一条12英寸、90-65-45纳米技术工艺等级,月产3.5万片晶圆的集成电路生产线(实际建成为55-40-28纳米工艺等级)。项目2010年启动建设,2015年完成项目竣工验收。

“909”工程二次升级改造项目:“十三五”期间国家集成电路生产力布局的重点项目,是国家“910”工程的重要子项目。投资387亿元,建设一条28-20-14纳米工艺等级、月产能4万片晶圆的12英寸生产线。项目将于2016年底开工,2018年试生产,2022年前达产。

 

题图:12英寸集成电路芯片产品。 图片除署名外,均由华虹集团供图。 图片编辑:项建英